江南小说网

苏远山突然觉得嘴皮有点干，沉默许久后，他抿着嘴唇，轻声道。

“我得承认，我这段时间确实对光刻机领域关注得少了一点。”

曲慧此时已经放下书，望着他，正色道：“你不止是少一点，光刻机是不能放弃的。”

“是。”苏远山点头，再次沉默几秒后望向郑振川：“郑叔，就算德远采购明年的Krf光刻机，能够让你们拥有竞争力吗？”

“或者说，你们宏芯真的到了必须得靠德远采购才能活下去的时候了？”

“不……当然不是。”郑振川马上摇头：“如果德远能够采购我们的光刻机，国内一帮人肯定会闭嘴的，更何况……我们还有双工件台呢。”

苏远山微微点头。

这个理由他认可。

从规模上，德远当然比不过intel，德仪，NEC这种老牌半导体企业，甚至连岛上的联电都比不过。

但从制程工艺和技术实力来看，德远的崛起确实带着浓浓的远芯印记，短短四年时间不到，就追上了制程领域的第一梯队，堪称半导体行业的奇迹。

而从德远上个季度公布的财报来看，德远也跻身进了十大晶圆厂。甚至因为并没有涉足目前正受冲击的DRAM领域，还一举超过了NEC和德仪，一举进入了前六。

如果能拿到德远的“认可”，显然对宏芯的光刻机是有正面宣传意义的。

沉默着，苏远山突然望向曲慧。

“曲慧姐，你们那边的定位精度在一年内能提到多少？有计划表没有？”

——工件台的精度与光刻机的制程工艺是两码事，一般来说，0.5微米制程，搭配纠偏系统的话，需要的套刻精度是0.1微米以下。

套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更换掩膜进行重复曝光，这两次曝光的过程中的掩膜，需要精确地套叠在一起，因此被称为套刻。

而众所周知，工件台是光刻机工作时所有工序的平台，因此套刻精度又受工件台定位精度的直接影响。

在引入误差后，双工件台的精度起码还得提升个10倍，达到0.05微米的精度以上，才能真正用在0.25微米的制程工艺上——这才是远芯需要的光刻机。

而后世的工件台，定位精度甚至能够达到2纳米以下！加上多重曝光，理论上甚至能实现2纳米的制程。

现在曲慧说定位精度在0.5微米，那意思就是首都精科那边只能算是造出了双工件台，要真正运用在光刻机上，还需要进行不断的调试。

苏远山对机械不甚了解，他只知道，如果零部件误差在允许范围内的话，那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。

纠偏系统，顾名思义，就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单，就是搭配光栅传感器，把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂，因为它对运动控制模块的要求相当高。

曲慧合上书，回答道：“计划当然是有计划，我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块，但现在没办法告诉你准确的进度。”

苏远山慢慢点头，突然问道：“首都高科对双工件台的出口计划是什么？”

郑振川和曲慧一对视，两人同时沉默。

片刻后，郑振川轻声道：“小山，我们被国外掐脖子掐得够厉害了，我认为我们的双工件台不需要出口。”

曲慧同样点头：“我也认为。”

……

苏远山长长地叹了一口气。

直到现在，他才终于弄明白了这二人的真正来意。

曲慧的想法，大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了，现在终于轮到自己领先，要“爽一把”的角度来考虑。

而郑振川，则是考虑到双工件台所带来的效率提升，必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了，就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。

但显然……首都精科那边的想法不一样。

毕竟这是产品，而不是技术。

是，产品是存在着被山寨的可能，但别忘了，有种东西叫防拆自毁装置——这还是西方搞出来的。

一旦出口，则意味着首都精科将会拥抱更大的市场，拥有更高的平台，甚至还极有可能用双工件台来换取某些领域封锁的解除。

而世人皆知，远芯在半导体领域内，拥有无比的前瞻和影响力。

如果远芯能够表明态度，那么这双工件台到底是被列为禁止单独出口的设备，还是可以供货给目前世界所有的光刻机企业……或许就能尘埃落定了。

——这便是两人在双工件台刚好完成“拼装”，还处于保密期就来找苏远山的原因。

……

苏远山当然知道双工件台的重要性。

他而且还知道，在历史上的4年后，ASML就会利用上双工件台技术。而数年后，更是依靠磁悬浮双工件台和浸润式技术大杀四方，彻底把尼康佳能彻底打落尘埃。

甚至尼康的老总在后世还说过这么一句话——“你们或许能够搞定光源，但是工件台对你们来说，那太难了。”

当然，事实证明，他这句话错得离谱。

曲慧见苏远山一直沉默，终于忍不住了：“小山，你表个态。”

“我怎么表态？”苏远山抬起头，眼神中全是纠结：“理智告诉我，如果首都精科能够在一年内把双工件台的精度提高到可以适配最先进的制程，那么你们掌握的将是这个世界最强大的光刻机三大核心系统之一。”

“如果你们愿意出口，在光刻机这种只争朝夕的领域，你们将打败所有的未知敌人。哪怕WA协议再牛逼，也不得不给你们额外开一条口子。最顶尖的超高精密加工厂将会为你们随时开启代加工的大门。”

“但这样一来，郑叔他们将会在长时间都失去国际竞争力，最坏的结果甚至可能是彻底沦为低端。”

郑振川张了张嘴，半响后还是只发出了一声叹息。

苏远山望着两人，回忆起后世丧心病狂的制裁，眼中闪过一抹难以名状的情绪：“你们都知道，远芯目前在各个领域取得的成就，就类似于一座古旧城市里新建的几座摩天大楼，看起来确实让人振奋。”

“但西方呢？三百年的科技发展底蕴，三次工业革命的诞生……真不是我们短短几年，几十年就能追上的。”

“放眼望去，西方那特么的是一片金字塔啊！”

“所以，万一有一天，当灯塔国意识到他们从内心深处无法接受我们的崛起、开始丧心病狂地封锁我们，宣布禁止我们使用灯塔国的任何技术，禁止任何西方企业与我们进行技术合作时——我们怎么办？”

苏远山的“危言耸听”让二人齐齐一怔！

“怎么可能？”曲慧虽然对双工件台的态度是持独有态度，但她依旧相信，苏远山口中这种所谓的“全面封锁”、禁止“任何技术”交流与合作是不可能发生的。

郑振川同样如此认为。

原因很简单，即便去年已经重新搞了WA协议，看似涉及了许多方面和许多技术。但它毕竟不是以前的八筒，在民用领域，其实口子还是有的。只要想点办法，除非是特别高端的设备，譬如五轴数控机床这种工业母机，基本上还是能够搞来。

再加上冷战结束，互联网兴起，地球村，全球化等新概念层出不穷……

所有人都相信，世界再也不会回到从前。

毕竟历史是不会开倒车的。

见两人脸上的不可置信，苏远山莫名地笑了一下。

“是不是觉得我还是冷战思维？”

曲慧点头：“我坦白，是有点。”

“曲慧姐，别忘了，冷战可从来不管我们的事呢！如今北方帝国倒塌，经历过冷战的就只剩下一个超级帝国……”

“从逻辑上，还残留着冷战思维的不是我，而是另外一边。”

苏远山目光望向西边，沉默片刻后继续道：“但我承认，全球化进程是不可逆的，特别是半导体行业。”

“如果说，每个国家在半导体领域的核心技术是牌桌上的筹码的话……那么一开始，我们是一点筹码都没有，连上桌的资格都没。”

曲慧皱着眉，突然问道：“EDA不算筹码？”

“EDA算，但那只是入场资格。”苏远山望着曲慧：“曲慧姐，你忘了当初EDA分家的时候……我对你们是怎么说的了。”

曲慧立刻怔住了。

她想起了苏远山当初在走廊上对她，蒋万超，以及朱健亭说的话。

——EDA是一家扎根在国内的，世界级的、让所有半导体企业离不开的企业。

“但光靠EDA这一片筹码，显然不够。”

“曲慧姐，郑叔，我要承认我们需要积极地加入和拥抱全球化。但同样的，我们也要保持被全面孤立的警惕——如何防止被全面孤立？显然就是让世界离不开我们。”

“双工件台如果不出口，那么只有一个结果，就是逼迫其他企业奋起直追。除非我们的技术和产品，别人无法实现，否则……把它变成筹码，我认为是今后的最优解。”

苏远山盯着郑振川，轻声道：“郑叔，我们还没有封锁别人的资格。”

郑振川再次张了张嘴。

这一次，他沉声道：“既然你也说了，要保持被全面孤立的警惕，那我们就更不能放弃自主光刻机了——我不相信你当初支持我们光刻机国产，仅仅只是为了能够从尼康那买到更好的。”

“是，郑叔。我当然愿意看到国产光刻机崛起，大杀四方，纵横睥睨。但国产光刻机……必须要以竞争力的方式来崛起。而不是，由上面一纸令下强制购买来崛起——那样，其他企业的竞争力呢？”

郑振川便沉默了下来，又轻轻叹了口气。

“郑叔，别着急。”

苏远山见郑振川兴意阑珊的模样，知道不能太打击这位把满腔热忱都投入了国产光刻机的老爷子，微微一笑道：“我们会和首都精科那边商议，也会和外贸部和发改委讨论一下，看能不能取得一个两全其美的办法。”

“什么办法？”

“这就要催一催曲慧姐那边了——如果可能，我希望在未来半年到一年之内，双工件台就能够运用在光刻机上，然后给国产光刻机一年左右的时间来建立优势，拿到订单——只要能够满足0.18微米的工艺，德远就会采购，甚至那些专门搞DRAM的企业更会争先恐后的采购！”

“然后双工件台出口——在国外光刻机企业的双工件台项目刚启动的时候，我们就变成反过来摧毁他们技术和产业的一方了。只要我们一直保持对技术的推进，那么将变得无可替代。”

“而只要工件台实现了跨越式的进步，到时候再禁止出口，只用在国产光刻机上不好吗？”

苏远山一口气说完，便望向郑振川。

想了想后，觉得自己还可以给郑振川打一下气。

“郑叔，然后光源部分……相信我，马上我们就能搞定Arf光源。而且我们也有了突破193nm的方案。”

听到这里，郑振川倏然一惊！

他是搞光刻机的，当然知道193nm现在成了一个被行业内集体头疼的问题——要知道，光源的技术一直都领先于光刻机整机本身的技术。而光源的理论，更是早在光源造出来之前的数年、数十年就奠定了下来。

但真当实现了193nm的Arf光源，开始研究下一代光源后，大家才发现这难度不是一般的大。

——都逼得灯塔国那边搞EUV联盟，直接跳过152，走极紫外路线了，你说难度大不大？

苏远山现在告诉他，有突破193nm的方案！

那岂不是……

“你说的是真的？”郑振川盯着苏远山：“你别骗我，我认识一大帮搞光源的——我回头就问老赵去。”

苏远山哭笑不得：“你问他也没用，保密的。”

“……”

“郑叔，所以别着急。双工件台，如果只用在国产光刻机上，只是算是锦上添花。当我们真正超越193nm的时候，才是国产光刻机拥有核心竞争力的时候。”

郑振川半信半疑地看着苏远山，最终还是点了点头。

随后，他便和苏远山一起望向曲慧。

感受到两人的目光，曲慧突然觉得这两人的视线重逾千斤。

“意思是，全部的压力都落在首都精科身上了？”

“不，不是压力。”苏远山微微一笑。

“是希望。”